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描述:美國Parker生產(chǎn)的VSO-Low Flow是低流量比例閥,在實(shí)際應(yīng)用中,即使氦氣流量?jī)H有幾個(gè)毫升/分鐘,仍然可以保持非常高的精度。這是一款小通徑的比例閥。在如此小的通徑下,保持非常高的精度,需要的技術(shù)水平,尤其適合氣相色譜和質(zhì)譜的生產(chǎn)廠商。
特點(diǎn):
? 操作壓力可以達(dá)到150 PSI,允許精確的低流量(0~500 sccm)控制,以提高儀器精度。
? 氦泄漏率測(cè)試僅為0.2 sccm,使用壽命高達(dá)1千萬次循環(huán),保證了高重復(fù)性。
? 通過熱補(bǔ)償保持理想的流量。
? 所有閥經(jīng)過分析級(jí)清洗,并氧氣兼容。
? 系列化性能可追溯。
? 直流信號(hào)、脈寬調(diào)制信號(hào)的閉環(huán)反饋驅(qū)動(dòng),達(dá)到系統(tǒng)化的性能。
? 通過RoHS 認(rèn)證
典型應(yīng)用:
? 氣相色譜
? 質(zhì)譜分析
? 壓力和流量控制
? 質(zhì)量流量控制
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