上海納騰儀器有限公司
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產(chǎn)品型號CLONE4，CLONE6，CLONE8
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
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更新時間：2025-01-12 10:57:10瀏覽次數(shù)：48次
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桌面式等離子清洗、蝕刻系統(tǒng)，等離子刻蝕&反應離子刻蝕系統(tǒng)
腔室結(jié)構(gòu)：
型號比較：
應用：
· 刻蝕：氧化物刻蝕 RIE模式， 氮化物刻蝕RIE模式， 硅刻蝕 RIE模式， 光刻膠刻蝕 RIE模式， 聚合物（RIE+PE），二維材料 RIE
· 表面處理：親水處理 PE模式，功能化 PE模式，粘附力增強：PE+RIE，高分子： RIE+PE
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