上海納騰儀器有限公司
會(huì)員1.png)
上海納騰儀器有限公司
| 參 考 價(jià) | 面議 |
產(chǎn)品型號(hào)ELS-F125/F100/HS50
品 牌
廠商性質(zhì)其他
所 在 地上海
農(nóng)機(jī)網(wǎng)采購(gòu)部電話：0571-88918531
QQ:2568841715
聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式
更新時(shí)間：2025-01-12 12:25:29瀏覽次數(shù)：57次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 農(nóng)機(jī)網(wǎng)暫無(wú)信息 |
ELS-F125是Elionix推出的世界上加速電壓高達(dá)125KV的電子束曝光系統(tǒng)，其可加工線寬下限為5nm的精細(xì)圖形。(以下參數(shù)基于ELS-F125)
ELS-F125具有以下優(yōu)點(diǎn)：
l 超高書(shū)寫(xiě)精度
- 5 nm 線寬精度 @ 125 kV
- 1.7 nm 電子束直徑&鄰近效應(yīng)最小化 @ 125 kV
l 高通量、均勻性好
- 超大視野書(shū)寫(xiě):500um視場(chǎng)下10 nm線寬
- 高束流下電子束直徑依然很小，高通量而不影響分辨率，2 nm 電子束直徑@ 1 nA
l 界面用戶友好
基于Windows系統(tǒng)的CAD和SEM界面:
-簡(jiǎn)單易用的圖案設(shè)計(jì)功能
-易于控制的電子束條件
二、主要功能
l 主要應(yīng)用
納米器件的微結(jié)構(gòu)
集成光學(xué)器件，如光柵，光子晶體等
NEMS結(jié)構(gòu)，復(fù)雜精細(xì)結(jié)構(gòu)
光刻掩模板，壓印模板
l 技術(shù)能力
三、應(yīng)用
您感興趣的產(chǎn)品PRODUCTS YOU ARE INTERESTED IN
徠卡自動(dòng)修塊拋光機(jī) Leica EM TXP
Leica EM TXP 面議
農(nóng)機(jī)網(wǎng) 設(shè)計(jì)制作，未經(jīng)允許翻錄必究 .? ? ?
請(qǐng)輸入賬號(hào)
請(qǐng)輸入密碼
請(qǐng)輸驗(yàn)證碼
